Sputtering Targets Nedir? Kullanım Alanları

Sputtering Targets Nedir? Kullanım Alanları

Sputtering targets, ince film kaplama işlemlerinde kullanılan özel malzemelerdir. “Sputtering” (püskürtme) yöntemiyle fiziksel buhar biriktirme (PVD – Physical Vapor Deposition) işlemlerinde kullanılırlar. Bu malzemeler, genellikle saf metaller, alaşımlar, oksitler veya nitrürlerden oluşur.

---

Sputtering Targets Kullanım Alanları

1. Mikroelektronik ve Yarı İletken Endüstrisi
   • PCB (Baskılı Devre Kartları) üretimi
   • Transistörler, mikroçipler ve entegre devreler
   • Yüksek hassasiyetli elektronik bileşenler
2. Optik Kaplamalar
   • Güneş panelleri
   • Gözlük camları (anti-reflektif kaplama)
   • Teleskop aynaları, optik lensler
3. Ekran Teknolojileri
   • LCD, OLED, ve LED ekran üretimi
   • Dokunmatik ekran kaplamaları
   • Anti-statik ve koruyucu katmanlar
4. Güneş Enerjisi ve Fotovoltaik Uygulamalar
   • İnce film güneş panelleri
   • Yüksek verimli fotovoltaik hücreler
   • Şeffaf iletken oksit kaplamalar
5. Havacılık ve Otomotiv Sanayii
   • Aşınmaya dayanıklı kaplamalar
   • Havacılık motor bileşenlerinde koruyucu katmanlar
   • Korozyon önleyici yüzey işlemleri
6. Medikal Endüstri
   • İmplant ve protez kaplamaları (örneğin, TiN – Titanium Nitride)
   • Steril ve biyouyumlu kaplamalar
   • Tıbbi cihazlar için anti-bakteriyel yüzeyler

---

Sputtering İşlemi Nasıl Çalışır?

1. Vakum odasında hedef (target) malzeme yerleştirilir.
2. Yüksek enerjili iyonlar (genellikle argon iyonları) hedef yüzeyine çarptırılır.
3. Bu çarpışma sonucu hedef malzemeden atomlar kopar ve birikmesi gereken yüzeye (substrate) transfer olur.
4. Böylece, kaplanacak yüzeyin üstüne kontrollü ve homojen bir ince film tabaka oluşur.

---

Sputtering Targets Çeşitleri

• Metal Targets: Alüminyum (Al), Bakır (Cu), Altın (Au), Gümüş (Ag), Nikel (Ni), Titanyum (Ti), Tantalum (Ta)
• Oksit Targets: İndiyum Kalay Oksit (ITO), Çinko Oksit (ZnO), Titanyum Oksit (TiO₂), Silikon Dioksit (SiO₂)
• Nitrür Targets: Alüminyum Nitrür (AlN), Titanyum Nitrür (TiN), Bor Nitrür (BN)
• Alaşım Targets: Alüminyum Silikon Bakır (AlSiCu), Nikel Vanadyum (NiV), Kobalt Demir Bor (CoFeB)

---

Avantajları

✅ Yüksek saflık ve homojenlik sağlar
✅ Çok ince, hassas ve dayanıklı kaplamalar üretir
✅ Düşük sıcaklıkta kaplama yaparak ısıya duyarlı malzemeleri korur
✅ Yüksek aşınma direnci ve korozyon önleme avantajı sunar

Sputtering targets, teknolojinin birçok alanında kritik bir rol oynar ve yüksek hassasiyetli yüzey kaplamalar için vazgeçilmez malzemelerdir.

Sputtering Targets Çeşitleri

METAL HEDEFLERİ (METAL TARGETS)

• Alüminyum (Aluminum)
• Antimon (Antimony)
• Baryum (Barium)
• Bizmut (Bismuth)
• Bor (Boron)
• Bakır (Copper)
• Karbon (Carbon)
• Karbon (Grafit) (Carbon (Graphite))
• Karbon (Pirolitik Grafit) (Carbon (Pyrolytic Graphite))
• Krom (Chromium)
• Kobalt (Cobalt)
• Germanyum (Germanium)
• İndiyum (Indium)
• Demir (Iron)
• Kurşun (Lead)
• Magnezyum (Magnesium)
• Nikel (Nickel)
• Kalay (Tin)
• Silisyum (Si) (Katkısız) (Silicon (Si) (undoped))
• Silisyum (Si) (P-tipi) (Silicon (Si) (P-type))
• Gümüş (Silver)
• Niyobyum (Niobium)
• Tungsten (Tungsten)
• Permalloy (Permalloy)
• Platin (Platinum)
• Praseodim (Praseodymium)
• Selenyum (Selenium)
• Silisyum (Si) (N-tipi) (Silicon (Si) (N-type))
• Stronsiyum Titanat (Strontium Titanate)
• Tantal (Tantalum)
• Manganez (Manganese)
• Molibden (Molybdenum)
• Vanadyum (Vanadium)
• İtriyum (Yttrium)
• Çinko (Zinc)

---

OKSİT HEDEFLERİ (OXIDE TARGETS)

• Alüminyum Oksit (Aluminum Oxide)
• Seryum Oksit (Cerium Oxide)
• Bizmut Oksit (Bismuth Oxide)
• Krom Oksit (Chromium Oxide)
• Erbiyum Oksit (Erbium Oxide)
• İndiyum Oksit (Indium Oxide)
• Demir Oksit (Iron Oxide)
• Magnezyum Oksit (Magnesium Oxide)
• Nikel Oksit (Nickel Oxide)
• Niyobyum Oksit (Niobium Oxide)
• Silisyum Dioksit (Füzyon Kuvars) (Silicon Dioxide (Fused Quartz))
• Tantal Oksit (Tantalum Oxide)
• Kalay Oksit (Tin Oxide)
• Tungsten Oksit (Tungsten Oxide)
• Vanadyum Oksit (Vanadium Oxide)
• Yterbiyum Oksit (Ytterbium Oxide)
• Çinko Oksit (Zinc Oxide)

---

ALAŞIM HEDEFLERİ (ALLOY TARGETS)

• Alüminyum Nitrür (Aluminum Nitride)
• Alüminyum Silisyum (Aluminum Silicon)
• Alüminyum Silisyum Bakır (Aluminum Silicon Copper)
• Antimon Tellürit (Antimony Telluride)
• Baryum Florür (Barium Fluoride)
• Baryum Titanat (Barium Titanate)
• Baryum Stronsiyum Titanat (Barium Strontium Titanate)
• Baryum Zirkonat (Barium Zirconate)
• Bizmut Ferrit (Bismuth Ferrite)
• Bizmut Ferrit (İndiyum) (Bismuth Ferrite (Indium))
• Bizmut Tellürit (Bismuth Telluride)
• Bor Karbür (Boron Carbide)
• Bor Nitrür (Boron Nitride)
• Kalsiyum Manganat (Calcium Manganate)
• Kobalt Demir Bor (Cobalt Iron Boron)
• İndiyum Kalay Oksit (ITO) (Indium Tin Oxide (ITO))
• İndiyum Çinko Oksit (Indium Zinc Oxide)
• Lantanyum Manganat (Lanthanum Manganate)
• Lantanyum Alüminat (İndiyum) (Lanthanum Aluminate (Indium))
• Lantanyum Kalsiyum Manganat (La0.7Ca0.3MnO3) (Lanthanum Calcium Manganate (La0.7Ca0.3MnO3))
• Lantanyum Nikel Oksit (Lanthanum Nickel Oxide)
• Lantanyum Stronsiyum Manganat (La0.9Sr0.1MnO3) (Lanthanum Strontium Manganate (La0.9Sr0.1MnO3))
• Lantanyum Stronsiyum Manganat (La0.7Sr0.3MnO3) (Lanthanum Strontium Manganate (La0.7Sr0.3MnO3))
• Lantanyum Titanat (Lanthanum Titanate)
• Kurşun Zirkonyum Titanat (PZT) (Lead Zirconium Titanate, PZT)
• Lityum Kobalt Oksit (Lithium Cobalt Oxide)
• Lityum Nikel Kobalt Oksit (LiNi(1-x)CoxO2) (Lithium Nickel Cobalt Oxide (LiNi(1-x)CoxO2))
• Lityum Niyobat (Lithium Niobate)
• Lityum Fosfat (Lithium Phosphate)
• Lityum Titanat (Lithium Titanate)
• Magnezyum Florür (Magnesium Fluoride)
• Molibden Disilisit (Molybdenum Disilicide)
• Molibden Disülfür (Molybdenum Disulfide)
• Molibden Oksit (Molybdenum Oxide)
• Nikel Krom (Nickel Chromium)
• Nikel Demir (Nickel Iron)
• Nikel Vanadyum (Nickel Vanadium)
• Praseodim Kalsiyum Manganat (Praseodymium Calcium Manganate)
• Silisyum Nitrür (Silicon Nitride)
• Silisyum Karbür (Silicon Carbide)
• Titanyum Borür (Titanium Boride)
• Titanyum Dioksit (Titanium Dioxide)
• Titanyum Karbür (Titanium Carbide)
• Titanyum Nitrür (Titanium Nitride)
• Tungsten Disülfür (Tungsten Disulfide)
• Tungsten Titanyum (Tungsten Titanium)
• İtriyum Ferrit (Yttrium Ferrite)
• Çinko Oksit ile Alümina (Zinc Oxide with Alumina)
• Çinko Sülfür (Zinc Sulfide)